D07-9E氣體質(zhì)量流量控制器 氬氣流量計用途: 質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
產(chǎn)品型號 | D07-9E |
產(chǎn)品類型 | 普通型 |
流量量程 | 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm |
產(chǎn)品精度 | ±2%F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±1%F.S. |
響應(yīng)時間 | ≤4sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 常閉 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點飄移指標 | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | (0.05~0.30) MPa(20slm ≤F.S.≤30slm),(0.10~0.30) MPa(50slm m≤F.S.≤150slm),(0.15~0.30) MPa(200slm ≤F.S.≤250slm) |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10 |
表面化學(xué)成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | - 無 - |
重量 | 2.6Kg |