固體質(zhì)量流量的計量
1904年，美國Bousser制作出早的固體質(zhì)量流量的計量，該裝置的原理以動量為主。1929年，下落固體顆粒的質(zhì)量流量計研制出來，并成為理論與實踐相互結(jié)合的初級產(chǎn)品。1957年，通過動量原理進行固體顆粒測量的方法被提出來。1963年，日本三協(xié)電業(yè)公司借助于垂直力進行固體的流量裝置的檢測，并在1968年將該裝置改進為應用水平分力來檢測，進而發(fā)展成為沖量式流量計。目前，國內(nèi)外出現(xiàn)了不少測量固體質(zhì)量流量的沖量式流量計，這些產(chǎn)品的原理近乎一致，比如國產(chǎn)的LFD系列等。
氣體質(zhì)量流量計
1911年，美國學者提出了采用熱絲法來對氣體質(zhì)量進行測量的流量計。1914年，L.V.King通過電阻變化來替換氣體冷卻率，進而實現(xiàn)了測量。如今，不少熱流式質(zhì)量流量計就應用到該種方法。1964年，美國Dijeck借助于馬格努斯效應，從而完成了差壓質(zhì)量流量計的研制，并進行了氣體質(zhì)量流量的測量。目前，在氣體質(zhì)量流量計的應用上，熱流式相對多，比如國產(chǎn)86—系列，美國58—系列等。
液體質(zhì)量流量計
在質(zhì)量流量計中，測量液體的裝置種類相對多。無論是動量式質(zhì)量流量計，還是差壓質(zhì)量流量計和熱流式質(zhì)量流量計，都能夠?qū)σ后w進行測量。1962年，雙渦輪式液體、氣體質(zhì)量流量計出現(xiàn)。1973年，美國研制出了能夠?qū)Ψ蔷€性渦輪質(zhì)量流量計進行校正液體測量裝置。目前，美國Rosemount公司在70年代制造出的科里奧利質(zhì)量流量計應用相對較多。在此基礎(chǔ)上，各國也生產(chǎn)出了類似于科里奧利流量計的產(chǎn)品。
